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          日本ULVAC CFB-1300Z脂潤滑分子泵技術參數

          發布時間: 2015-12-29  點擊次數: 1391次

          日本ULVAC CFB-1300Z脂潤滑分子泵 一、產品簡介

                  CFB-Z系列脂潤滑分子泵其葉輪采用國內*的變截面葉齒,軸承采用脂潤滑陶磁精密軸承,以更高的可靠性實現了泵的任意角度安裝和清潔無油的高真空環境,廣泛應用于光伏、照明、宇航、半導體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術的各個領域。

           

          日本ULVAC CFB-1300Z脂潤滑分子泵 二、產品特點

                  

          • 由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
          • 軸承采用脂潤滑陶瓷精密軸承,可以實現泵的任意角度安裝。

           

          日本ULVAC CFB-1300Z脂潤滑分子泵 三、主要性能指標

           

          型號

          CFB-1300Z

          進氣口法蘭

          LF200

          CF200

          排氣口法蘭

          KF40

          抽氣速率

          L/s

          1300

          壓縮比N2/H2

          1×109/1×104

          極限壓強

          Pa

          5×10-7

          8×10-8   

          電機轉速

          rpm

          24000

          振動值

          μm

          ≤0.1

          啟動時間

          min

          <6

          使用軸承

          脂潤滑陶瓷軸承

          前極泵

          L/s

          8-15

          冷卻方式

          水冷(風冷)

          冷卻水溫度

          ≤25

          環境溫度

          <40

          冷卻水流量

          L/min

          1

          安裝方向

          任意角度

          重量

          kg

          ~27

           


          三、特性曲線及安裝尺寸

           

          CFB系列抗沖擊分子泵對大氣的抽速曲線 

          CFB系列抗沖擊分子泵對氮氣及氫氣壓縮比曲線

           CFB-1300Z安裝尺寸

           

          型號規格

          CFB-1300Z

          高真空法蘭

          LF200

          CF200

          D1

          Ф240

          Ф253

          D2

          Ф267

          Ф267

          D3

          245

          245

          L1

          101

          101

          H1

          327

          327

          H2

          267

          267

          H3

          98.5

          98.5

          H4

          252

          252




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