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日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300渦旋型干式真空泵特性
◇潔凈真空
由于無油、不會返流至泵內，因此可以得到潔凈的真空。
◇低噪音、低振動
渦線管優良的平衡性，降低了噪音和振動。
◇無需日常換油
由于不使用泵油，大幅減少了日常保養。
◇無需冷卻水
由于是空冷構造，安裝時真空泵只需接通電源就能工作，無需水冷管。
◇高效壓縮的渦線管節省了能源和運轉成本。
◇保養周期長
為避免機械損耗，選用耐用材料，密封件確保能夠連續運轉。
日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300渦旋型干式真空泵應用
◇可用于半導體制造的負載鎖定室
◇電子顯微鏡的前級泵
◇干式真空的前級泵
◇真空干燥、冷凍干燥系統
◇排氣、真空注入系統
◇真空蒸溜、真空凝縮
◇測量器械
◇真空加固
◇真空涂層系統
◇電子杠桿工程、激光杠桿機
型 號 | 實際排氣速度（L/min.） | 極限壓力 （Pa） | 吸/排氣管徑 （mm） | 重量 （kg） | 外形尺寸 W×L×H（mm） | 電機 | 極限蒸氣壓 （g/hr） | |
功率（W） | 可選電壓（V） | |||||||
※ DVS-321 | 265/320 （50/60Hz） | ≤1.5（當選購件孔徑D1.0≤3.0） | KF-25/KF-16 | 35 | 300×398×354 | 400 | 單相 100～115.200～230 | ≤2.0（當選購件孔徑D1.0≤2.3） |
DVS-631 | 525/630 （50/60Hz） | ≤1.0（當選購件孔徑D1.5≤2.5） | KF-40/KF-25 | 41 | 326×535×367 | 600 | 單相100/200.220 | ≤2.0（當選購件孔徑D1.0≤2.3） |
44 | 326×586×367 | 三相200 | ||||||
DVT-300 | 300 | ≤6.7 | KF-25/KF-16 | 26 | 257×273×509 | 400 | 單相100.200 三相200 | ------- |
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